Electron Probe Microanalysis (EPMA)

با بهره‌گیری از دستگاه ریزکاو الکترونی می توان ترکیب شیمیایی فازهای جامد یا کانی‌ها را به صورت نقطه‌ای و کمی (quantitative) اندازه‌گیری نمود و فرمول تجربی آنها را محاسبه نمود.